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CVD气相沉积炉的介绍:CVD气相沉积炉是ChemicalVaporDeposition的简称,是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物